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SEM3000S
扫描电子显微镜
SEM3000S

SEM3000S是一款性能更优的钨灯丝扫描电子显微镜。

本型号电镜具有快速更换灯丝,使用维护方便快捷的优点。标配超大尺寸样品仓,最大可支持样品直径320 mm,高73 mm,可在40至300,000倍下观察样品,最高分辨率可达3 nm,使用场景更为广泛。

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大腔体设计, 100 mm样品台或115 mm样品台(选配)

可放置最大样品直径370 mm,高68 mm

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预对中发叉式钨灯丝,更换灯丝方便

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多种探测器可供选配满足不同的应用需求

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模块化的结构设计,易于维护及保养

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纯中文界面操作简洁高效

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符合人体工程学设计的旋钮控制板

应用案例

能够在高倍下实现对极细微形貌的稳定观测,且图像有很好的衬度,具有钨灯丝电镜能够达到的极高分辨。

金颗粒 加速电压30 kV / 15 kV拍摄倍率150,000 / 75,000

锡球 加速电压30 kV 拍摄倍率10,000 / 100,000

电镜具有较大样品仓和较大景深,能够对表面高低起伏样品进行观测,调节范围较大。针对表面起伏剧烈的针尖状样品,能够快速定位某一处细节进行详细观测。

微电极针 加速电压15 kV 拍摄倍率200 / 1200

失效温控器 加速电压15 kV 拍摄倍率500 / 20,000

此外电镜支持低电压,在低电压下对不导电样品进行观测,减轻荷电现象的同时确保对细节的观测,尽可能减少对电荷敏感样品造成的损伤。

有机纤维材料 加速电压5 kV 拍摄倍率500 / 5,000

在粉末观测中,电镜较高分辨率能够确保用户能够从低倍到高倍进行连续观测,高倍下图像质量稳定,能够满足用户对极微尺寸特征的查找和观测。

碳纳米管附着物 加速电压:15 kV 拍摄倍率20,000 / 75,000

使用二次电子像,能够有效对芯片样品进行微观尺寸及较大范围的形貌分析,并且能够快速定位到样品感兴趣位置并进行缩放,进行局部特征的观测。

芯片 加速电压15 kV 拍摄倍率2,000 / 5,000

背散射

背散射电子探测器所得图像以亮度差异显示原子序数不同的区域,因而能够直观反应不同成分的分布。此外使用背散射电子探测器对不导电样品进行直接观测,一定程度上可减轻观测时的样品荷电。

地质样品 加速电压15 kV 拍摄倍率800 / 15,000

能谱

SEM3000s可选配不同种类能谱仪,对样品表面进行元素分析。

SE图像

整体元素分布

O元素分布图

Si元素分布

Al元素分布

Fe元素分布

Mg元素分布

K元素分布

Ca元素分布

Ti元素分布

Na元素分布

样品:天然石英晶体(掺杂有粘土)
加速电压:15 kV 放大倍率800

元素谱峰

元素半定量值

台式电镜的最佳替代者-SEM3000S

电镜类别台式电镜SEM3000S
安装环境安装占地面积小,不需单独房间,内置减震,不必须装在一楼安装面积与台式电镜相当,为求更高分辨率和性能,建议环境要求更高
灯丝成本CeB6,虽单根寿命较长,但单价昂贵,必须工程师更换,实际使用成本高钨灯丝,虽单根灯丝寿命较短,但单价低廉,更换简便,可自行更换,实际使用成本低
软件英文操作界面纯中文操作界面,简洁高效
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
分辨率和放大倍率分辨率:8nm,有效放大倍率2万倍分辨率:3nm,有效放大倍率30万倍,最小可到20倍
探测器和图像信息标配BSE,形貌像和成分像的混合像标配SE+BSE,独立的形貌像、成分像、阴影像和两者混合像
能谱(选配)电镜加速电压只有20kV,元素定性定量分析有误差,仅能配小型化能谱,分析功能不全面30kV加速电压,标准能谱,齐全的元素分析功能,可自由选择能谱供应商。
最大样品尺寸(直径)小于32 mm370 mm
样品台两轴样品台五轴自动样品台
电镜类别台式电镜
安装环境安装占地面积小,不需单独房间,内置减震,不必须装在一楼
灯丝成本CeB6,虽单根寿命较长,但单价昂贵,必须工程师更换,实际使用成本高
软件英文操作界面
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
分辨率和放大倍率分辨率:8nm,有效放大倍率2万倍
探测器和图像信息标配BSE,形貌像和成分像的混合像
能谱(选配)电镜加速电压只有20kV,元素定性定量分析有误差,仅能配小型化能谱,分析功能不全面
最大样品尺寸(直径)小于32 mm
样品台两轴样品台
电镜类别SEM3000S
安装环境安装面积与台式电镜相当,为求更高分辨率和性能,建议环境要求更高
灯丝成本钨灯丝,虽单根灯丝寿命较短,但单价低廉,更换简便,可自行更换,实际使用成本低
软件纯中文操作界面,简洁高效
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
分辨率和放大倍率分辨率:3nm,有效放大倍率30万倍,最小可到20倍
探测器和图像信息标配SE+BSE,独立的形貌像、成分像、阴影像和两者混合像
能谱(选配)30kV加速电压,标准能谱,齐全的元素分析功能,可自由选择能谱供应商。
最大样品尺寸(直径)370 mm
样品台五轴自动样品台
产品SEM3000S参数
特性分辨率3 nm/30 kV
放大倍率40-300000
加速电压5 kV-30 kV
图像检测二次电子图像 (SE)
背散射电子图像 (BSE)
多探测器 (SE+BSE)
探针与配件灯丝类型预对中型发叉式钨灯丝
物镜光阑固定光阑
二次电子探头标配
背散射探头选配
能谱仪EDS选配
样品室控制方式全自动阀
涡轮分子泵1台,240 L/S
机械泵1台,12 m³/h(50 Hz),8.4 cfm(60 Hz)
样品室真空度高真空下优于9 E-4Pa
样品台配置三轴自动(标配)四轴自动(选配)五轴自动(选配)
行程X:100 mm 电动X:100 mm 电动X:115 mm 电动
Y:100 mm 电动Y:100 mm 电动Y:115 mm 电动
Z:60 mm 电动Z:60 mm 电动Z:65 mm 电动
/R:-180 °到+180 ° 电动R:-180°到+180° 电动
//T:0°到-75°
最大样品尺寸直径370 mm, 高68 mm直径235 mm,高68 mm直径350 mm, 高73 mm
软件语言中文
操作系统Windows
整机尺寸(mm)长x宽x高 700x750x1650
使用条件房间不小于3 mx4 m,高2.3 m
温度5-30 ℃
湿度不大于50%
地面震动不大于5 um/sec
电气参数电源AC220 V;50 Hz;3 kVA
地线独立地线一条,小于10 Ω
交流磁场不大于0.3 μT
门宽宽不小于900 mm,高不小于2000 mm
特性
分辨率3 nm/30 kV
放大倍率20-300000
加速电压1 kV-30 kV
图像检测二次电子图像 (SE)
背散射电子图像 (BSE)
多探测器 (SE+BSE)
探针与配件
灯丝类型预对中型发叉式钨灯丝
物镜光阑固定光阑
二次电子探头标配
背散射探头选配
能谱仪EDS选配
样品室
控制方式全自动阀
涡轮分子泵1台,240 L/S
机械泵1台,12 m³/h(50 Hz),8.4 cfm(60 Hz)
样品室真空度高真空下优于9 E-4Pa
样品台配置三轴自动(标配)
行程X:100 mm 电动
Y:100 mm 电动
Z:60 mm 电动
最大样品尺寸直径370 mm, 高68 mm
样品台配置四轴自动(选配)
行程X:100 mm 电动
Y:100 mm 电动
Z:60 mm 电动
R:-180°到+180° 电动
最大样品尺寸直径370 mm, 高68 mm/直径350 mm, 高73 mm
样品台配置五轴自动(选配)
行程X:115 mm 电动
/Y:115 mm 电动
Z:65 mm 电动
R:-180°到+180° 电动
T:0°到-75°
最大样品尺寸直径350 mm, 高73 mm
软件管理
语言中文
操作系统Windows
整机
尺寸(mm)长x宽x高 700x750x1650
使用条件
房间不小于3 mx4 m,高2.3 m
温度5-30 ℃
湿度不大于50%
地面震动不大于5 um/sec
电气参数电源AC220 V;50 Hz;3 kVA
地线独立地线一条,小于10 Ω
交流磁场不大于0.3 μT
门宽宽不小于900 mm,高不小于2000 mm
产品参数1618909184526.png
公司地址

合肥 : 合肥市高新区创新产业园二期E2楼

无锡 : 无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号

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