扫描电子显微镜
SEM3000
SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达到100000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率轻松优于10 nm。在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。
                       

放大倍数

8倍 - 100,000倍

                       

物镜光阑

3 孔可变光阑

                       

加速电压

5 kV - 30 kV

                       

透镜系统

三级电磁透镜

                       

分辨率

优于 10 nm(二次电子图像)

                       

电子枪

三级自给偏压,预对中型发叉式钨灯丝

应用领域

材料: 泡沫镍

泡沫镍

工业: 模具,磷化

表面磷化处理
表面磷化处理
PCB焊盘
产品SEM3000参数

扫描模式

行扫:2 ms - 80 ms

帧扫:0.4 s - 160 s

(可选256x256像素)

观察模式:1024x1024像素

(三档速度)

拍照模式:4096x4096像素

(三档速度, 可选1024x1024)

样品台

X、Y、Z、R、T 五轴电动样

品台

X:50 mm;

Y:50 mm;

Z:40 mm;

R:360°;

T:-15° 到+60°

真空系统

主泵:涡轮分子泵

前级泵:旋片式机械泵

系统极限真空度:

5 x 10^-4Pa

(涡轮分子泵)

安装要求

电源:AC220 V;50 Hz;

2KVA

地线:独立地线一条,小于10Ω

温度:15 ℃-30 ℃

湿度:≤70%

地面震动:≤5 μm/sec

交流磁场:≤0.3 μT

门宽:≥900 mm

探测器

二次电子、背散射电子(选

配)、X能谱仪(选配)

外形尺寸和重量

主机  :700(W)x750

D)x1450(H);160 kg

公司地址

合肥总部 : 合肥市高新区创新产业园二期E2楼

无锡分部 : 无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号

上海分部 : 上海市虹口区北外滩峨眉路315号8405室

联系方式

电话 : 400-0606-976

0561-63367168

邮箱 : gylz@ciqtek.com

网址 : www.ciqtek.com

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