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在材料高温性能研究、相变机理分析等领域，传统外部加热手段往往无法实现微区精准控温与实时观测的结合。

 

国仪量子联合中国科学技术大学微纳中心，自主研制原位加热芯片解决方案，通过MEMS加热芯片与双束电镜的深度融合，实现样品在室温至1100℃范围内的精准控温与微观动态分析，为高温环境下材料行为研究提供全新工具。

 

该方案采用国仪自研双束电镜与专用MEMS加热芯片，控温精度优于0.1℃，测温分辨率优于0.1℃，同时具备温度均匀性好、红外辐射少等优势，有效保障高温下的分析稳定性。系统支持在加热过程中同步开展微区形貌观测、EBSD晶体取向分析、EDS成分检测等多项表征，全面揭示材料在热场作用下的相变、应力演化与成分迁移规律。

 

该联用方案无需破真空，既可满足制样+表征(原位微区EBSD)的全流程使用需求。

 

 

 

一体化工作流设计覆盖从样品制备（离子束加工、纳米机械手提取）到原位焊接、加热测试的全流程，支持斜面45°加热芯片与36°铜网位的多角度操作，满足复杂实验需求。系统已成功应用于合金、陶瓷、半导体等材料的高温性能研究，助力用户深入理解材料在真实环境下的微观响应机制。

 

 

9月26-30日 武汉

 

2025年全国电子显微学学术年会

 

国仪量子八大电镜解决方案

 

即将发布！

 

填写问卷，会议结束后即可获取方案PDF！