SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 样品台减速 | ||
| 磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证） | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
| 关键参数 | |
| 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 |
| 样品室 | |
| 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
| T: -10°~+70°，R: 360° | |
| 探测器和扩展 | |
| 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | |
| 能谱仪（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | |
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | |
| 轨迹球&旋钮控制板 | |
| 样品台减速 | |
| 磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证） | |
| 软件 | |
| 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
