超高分辨场发射扫描电子显微镜
SEM5000X
 

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。

超高分辨率
(0.6 nm@15 kV)
高压隧道技术
*双减速模式(Dul-Dec
机械优中心样品台
*快速换样仓(最大8寸)
产品优势
超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
关键参数 分辨率 0.6 nm @ 15 kV,SE
1.0 nm @ 1 kV,SE
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
样品室 真空系统 全自动控制
摄像头 双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
样品台类型 五轴机械优中心样品台
样品台行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配 插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓(4寸和8寸可选)
轨迹球&旋钮控制板
样品台减速
磁场噪音屏蔽系统(SEMI认证)
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
关键参数
分辨率 0.6 nm @ 15 kV,SE
1.0 nm @ 1 kV,SE
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
样品室
真空系统 全自动控制
摄像头 双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
样品台类型 五轴机械优中心样品台
样品台行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探测器和扩展
标配 镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配 插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓(4寸和8寸可选)
轨迹球&旋钮控制板
样品台减速
磁场噪音屏蔽系统(SEMI认证)
软件
语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散