场发射扫描电镜
SEM5000Pro
SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜,使用了
高压隧道技术(Super-Tunnel)、无交叉电子光路、静电电
磁复合物镜设计,减少了空间电荷效应,降低系统像差,实
现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升,
可对不导电样品或半导体样品进行直接观察,有效降低了样
品辐照损伤。
电子枪类型
肖特基
场发射电子枪
分辨率
0.8 nm @ 15 kV,SE
1.2 nm @ 1 kV,SE
放大倍率
1 ~ 2,500,000 x
加速电压
20 V ~ 30 kV
样品台
五轴全自动样品台
产品特点
01
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
02
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
03
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
04
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
05
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
06
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
应用领域
应用案例
玻璃基底片 /3kV/ETD
催化剂 /5kV/Inlens
磁性粉末 /10 kV/Inlens
氮化硼纳米片 /3kV/ETD
三元正极前驱体 /3kV/Inlens
高熵合金粉末 /10kV/BSED
金属铜粉 /3kV/Inlens
陶瓷截面 /3kV/Inlens
钴酸锂 /3kV/Inlens
纳米花 /1kV/Inlens
植物切片 /30kV/STEM-BF
植物切片 /30kV/STEM-DF
植物切片 /30kV/STEM-HAADF
勃姆石 /5kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/Inlens
产品参数
关键参数 | 分辨率 |
0.8 nm @ 15 kV,SE |
加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
样品室 | 摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) |
样品台行程 |
X: 110 mm,Y: 110 mm,Z: 50 mm |
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探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器:Inlens 仓室内电子探测器:ETD |
选配 |
插入式背散射电子探测器(BSED) 低真空二次电子探测器(LVD) 背散射衍射(EBSD) 样品交换仓(4 寸 /8 寸) 轨迹球&旋钮板 |
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软件 | 语言 | 中文SEM软件 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配) | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |