场发射扫描电镜
SEM5000
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型
肖特基
场发射电子枪
分辨率
1.0 nm @ 15 kV，SE
1.5 nm @ 1 kV，SE
0.8nm @ 30 kV，STEM
放大倍率
1 ~ 2,500,000 x
加速电压
20 V ~ 30 kV
样品台
五轴全自动样品台
产品特点
01
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
02
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
03
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
04
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
05
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
06
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
应用领域
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 |
1.0 nm @ 15 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
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|
样品台行程 |
X: 120 mm，Y: 115 mm，Z: 50 mm （* 可选配超大仓体版本） |
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| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器 |
| 选配 |
插入式背散射电子探测器 轨迹球 & 旋钮控制板 |
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| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
