SEM5000

场发射扫描电镜
SEM5000Pro

 

SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜,使用了
高压隧道技术(Super-Tunnel)、无交叉电子光路、静电电
磁复合物镜设计,减少了空间电荷效应,降低系统像差,实
现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升,
可对不导电样品或半导体样品进行直接观察,有效降低了样
品辐照损伤。

电子枪类型

肖特基
场发射电子枪

分辨率

0.8 nm @ 15 kV,SE
1.2 nm @ 1 kV,SE

 

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

加速电压

20 V ~ 30 kV

样品台

五轴全自动样品台

产品特点

01

分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像

02

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品

03

高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证

04

电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力

05

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

06

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

应用领域

锂电 芯片半导体 陶瓷 建筑材料 电子元器件 化学化工 生物医疗 环保 金属材料 更多领域
锂电 芯片半导体 陶瓷 建筑材料 电子元器件 化学化工 生物医疗 环保 金属材料

应用案例

玻璃基底片 /3kV/ETD
催化剂 /5kV/Inlens
磁性粉末 /10 kV/Inlens
氮化硼纳米片 /3kV/ETD
三元正极前驱体 /3kV/Inlens
高熵合金粉末 /10kV/BSED
金属铜粉 /3kV/Inlens
陶瓷截面 /3kV/Inlens
钴酸锂 /3kV/Inlens
纳米花 /1kV/Inlens
植物切片 /30kV/STEM-BF
植物切片 /30kV/STEM-DF
植物切片 /30kV/STEM-HAADF
勃姆石 /5kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/Inlens

产品参数

关键参数 分辨率

0.8 nm @ 15 kV,SE
1.2 nm @ 1.0 kV,SE

加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
样品室 摄像头 双摄像头
(光学导航+样品仓内监控)

样品台行程

X: 110 mm,Y: 110 mm,Z: 50 mm
T: -10°~ +70°, R: 360°

探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器:Inlens
仓室内电子探测器:ETD
选配

插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)

低真空二次电子探测器(LVD)
能谱仪(EDS)

背散射衍射(EBSD)

样品交换仓(4 寸 /8 寸)

轨迹球&旋钮板

软件 语言 中文SEM软件
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散