SEM5000

场发射扫描电镜
SEM5000

 

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型

高亮度肖特基
场发射电子枪

分辨率

1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

加速电压

20 V ~ 30 kV

样品台

五轴全自动样品台

产品特点

01

分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像

02

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品

03

高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证

04

电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力

05

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

06

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

应用领域

锂电芯片半导体陶瓷建筑材料电子元器件化学化工生物医疗环保金属材料更多领域
锂电芯片半导体陶瓷建筑材料电子元器件化学化工生物医疗环保金属材料

产品参数

关键参数 分辨率 1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV
加速电压 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
样品室 真空系统 全自动控制,无油真空系统
摄像头 双摄像头
(光学导航+样品仓内监控)
行程 X: 115 mm,Y: 115 mm,Z: 65 mm
T: -10°~ +70°, R: 360°
探测器和扩展 标配 镜筒内高角度电子探测器
侧向低角度电子探测器
选配 平插式中角度背散射电子探测器
STEM自动伸缩式扫描透射探测器
样品交换仓
高速束闸和电子束曝光
EDS能谱仪
EBSD背散射衍射
EBIC电子束感生电流
CL阴极荧光
高低温原位拉伸台
纳米机械手
大图拼接
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散