场发射扫描电镜
SEM5000Pro
SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了
高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电
磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实
现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，
可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样
品辐照损伤。
低电压高分辨
高稳定性
镜筒内电子探测器
*快速换样仓
（最大8寸）
（最大8寸）
磁偏转六孔光阑
丰富的扩展能力
产品特点
01
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
02
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
03
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
04
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
05
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
06
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
应用领域
应用案例
玻璃基底片 /3kV/ETD
催化剂 /5kV/Inlens
磁性粉末 /10 kV/Inlens
氮化硼纳米片 /3kV/ETD
三元正极前驱体 /3kV/Inlens
高熵合金粉末 /10kV/BSED
金属铜粉 /3kV/Inlens
陶瓷截面 /3kV/Inlens
钴酸锂 /3kV/Inlens
纳米花 /1kV/Inlens
植物切片 /30kV/STEM-BF
植物切片 /30kV/STEM-DF
植物切片 /30kV/STEM-HAADF
勃姆石 /5kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/BSED
钢铁夹杂物 /15kV/Inlens产品参数
| 关键参数 | 分辨率 |
0.8 nm @ 15 kV，SE 1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV STEM |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV （可升级35kV） | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） |
|
样品台行程 |
X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm |
|
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD |
| 选配 |
插入式背散射电子探测器（BSED）（五分割，可选配） 低真空二次电子探测器（LVD） 背散射衍射（EBSD） 样品交换仓（4 寸 /8 寸） 轨迹球&旋钮板 |
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| 软件 | 语言 | 中文SEM软件 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
