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扫描电子显微镜
SEM3000
SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达到100000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率轻松优于10 nm。在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。
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放大倍数

8倍 - 100,000倍

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物镜光阑

3 孔可变光阑

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加速电压

5 kV - 30 kV

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透镜系统

三级电磁透镜

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分辨率

优于 10 nm(二次电子图像)

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电子枪

预对中型发叉式钨灯丝

应用领域

材料: 泡沫镍

泡沫镍

工业: 模具,磷化

表面磷化处理
表面磷化处理
PCB焊盘
产品SEM3000参数
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扫描模式

行扫:2 ms-80 ms  

帧扫:0.4 s-160 s

快扫模式:512x512像素

(可选256x256像素)

观察模式:1024x1024像素

(三档速度)

拍照模式:4096x4096像素

(三档速度, 可选1024x1024像素)

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样品台

X、Y、Z、R、T 五轴电动样

品台

X:50 mm;

Y:50 mm;

Z:40 mm;

R:360°;

T:-15° 到+60°

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真空系统

主泵:涡轮分子泵

前级泵:旋片式机械泵

系统极限真空度:

5 x 10^-4Pa

(涡轮分子泵)

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安装要求

电源:AC220 V;50 Hz;

2KVA

地线:独立地线一条,小于10Ω

温度:15 ℃-30 ℃

湿度:≤70%

地面震动:≤5 μm/sec

交流磁场:≤0.3 μT

门宽:≥900 mm

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探测器

二次电子、背散射电子(选

配)、X能谱仪(选配)

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外形尺寸和重量

主机  :700(W)x750

D)x1450(H);160 kg

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公司地址

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