理化中心与示范中心成功验证国产双束电镜
近日，中国科学技术大学理化科学实验中心、中国科学院自主研制科学仪器应用示范中心成功验证国产双束电镜（FIB-SEM）的透射电镜制样流程，有力支撑了自主研制高端科学仪器的技术创新，为打好科技仪器国产化攻坚战贡献力量。
双束电镜制样过程
制备透射电镜样品，是双束电镜最重要的应用之一。为推动双束电镜的研制进展和应用场景开拓，示范中心委托理化中心林岳特任教授组织研发应用团队，针对国产双束电镜的TEM样品制备能力进行实验验证。
中国科大理化中心林岳特任教授在带领研发应用团队进行实验验证
验证样品为中国科大核科学技术学院提供的铁素体马氏体钢块材，该样品具有铁磁性、高强度、高硬度等特点，对双束电镜和减薄技术提出了较高要求。制备过程中，使用了国仪量子自主研发的聚焦离子束电子束双束电镜DB500，可提供高稳定、高质量的离子束流，切割能力出众，高效完成了表面沉积、样品刻蚀、精确切割、定点焊接、样品转移、高精度纳米尺度减薄等一系列完整TEM制样流程。
纳米机械手抓取微米级样品
验证团队使用球差校正透射电镜对国产双束电镜制备的TEM样品进行观察和检验。结果显示，该样品完全符合透射电镜的观察要求，即非晶层薄，且样品损伤较低。在观察中清晰可见HRTEM晶格像和HAADF-STEM原子像。此次样品制备成功表明国产双束电镜DB500已达到同类型进口设备技术水平，标志着国产双束电镜正式迈入了微纳加工的全新时代。
验证团队成功观察到双束电镜DB500所减薄样品的HAADF-STEM原子像
HAADF-STEM原子像
HRTEM晶格像
组织此次自主研制高端科学仪器验证工作，是应用示范中心积极履行平台职能、积累成功经验的有益探索。一直以来，我国高端科学仪器产业十分薄弱，中国科研工作者饱受进口仪器价格高昂、交付周期漫长、维修维护不及时之痛。为支撑国家基础科学研究，提升科研仪器的国产化率，应用示范中心积极收集用户的意见和反馈，全力支持国产仪器完善性能指标，提升核心竞争力，让更多中国科研人用自主仪器设备解决重大科学问题。
关于聚焦离子束电子束双束电镜DB500
2023年10月，国仪量子发布了聚焦离子束电子束双束电镜DB500，拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，可实现对材料的剥离、沉积、注入、切割和改性等纳米加工操作。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强。
