功能丰富
用户友好的操作界面
钨灯丝扫描电子显微镜
SEM2100
SEM2100 是一款对初级用户非常友好的低门槛立式钨灯丝扫描电镜，采用了简化的操作流程，符合行业标准和电镜用户习惯的软件设计。在简约的软件界面上，依然提供了完善的自动化功能、丰富的测量和标记工具、图像管理和编辑、光学导航等功能，充分体现了简约不简单的设计理念。
电话咨询
立即专家对话
化繁为简
流畅省心的使用体验
实时监测
双重防碰撞
丰富的扩展性
兼容第三方附件
操作界面
自动化功能
完善的自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散功能，可提高工作效率。
自动聚焦
自动像散
自动亮度对比度
光学导航
应用案例
电子半导体
在半导体行业内，制程工艺会伴随各种微观缺陷，为了保障芯片的高良率，会引入专业的微观表征设备进行检测，其中利用扫描电镜进行高分辨形貌分析是不可或缺的排查手段。
SEM2100/PCB板(车灯)/10 kV/BSED
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SEM2100/芯片/15 kV/BSED
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SEM2100/IMC层/15 kV/BSED
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SEM2100/芯片/10 kV/ETD
锂电池/新能源材料
在新能源与锂电池制造中，材料的微观缺陷极易引发热失控，为了保障电芯的极致安全与性能，需要利用扫描电镜进行正负极材料和隔膜材料的检测。
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SEM2100/三元正极前驱体/15 kV/ETD
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SEM2100/磷酸铁锂/10 kV/ETD
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SEM2100/隔膜/10 kV/ETD
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SEM2100/硅碳负极材料/15 kV/ETD
金属材料
在金属材料研发与制造中，零部件常遭遇疲劳或腐蚀失效，为了探究其根本原因，需要借助专业的显微结构表征设备进行检测，其中扫描电镜是极为重要的设备之一。
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SEM2100/金属断口/20 kV/ETD
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SEM2100/铜板/15 kV/ETD
高分子材料
在高分子材料研发与改性中，微观形貌与断口结构直接决定性能，为了探究其内在机理，利用扫描电镜进行低电压形貌观察是非常重要的表征方法。
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SEM2100/纤维截面/7 kV/BSED
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SEM2100/高分子透镜阵列/15 kV/ETD
功能材料与新材料
在功能与新材料的研发中，微观形貌与特殊结构直接决定其最终性能。扫描电镜作为专业表征工具，可以很好的对新材料的微观形貌表征。
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SEM2100/氧化锌/10 kV/ETD
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SEM2100/陶瓷粉末/10 kV/ETD
生命与食品工程
在生命医药与食品工程中，组织形态与成分的微观结构直接关乎生理演变或口感风味。借助扫描电镜可深度观察生物大分子与食品原料的立体形貌。
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SEM2100/盐/1 kV/ETD
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SEM2100/片球菌属/15 kV/ETD
解决方案
12英寸晶圆检测
12英寸晶圆扫描电镜广泛应用于半导体行业和科研领域。它配备大尺寸、大行程的样品台（超过300mm行程)，具备高分辨率成像能力，可对微观结构进行详细观察和分析，其在半导体制造中用于检测晶圆缺陷，助力工艺优化，实现大尺寸全覆盖无损检测，标配高灵敏度镜筒内探测器，可选配EDS模块，实现形貌、成分等综合分析。
电镜-拉曼联用
- 信息互补，同步获取
- 直接对接，紧密关联
- 精准定位，针对性强
- 适用范围广，灵活性高
- 跨平台精准定位
- 多模态数据融合
- 灵活扩展性强
- 高性价比解决方案
冷冻传输电镜
高分辨形貌表征，保持样品原始状态，不皱缩，不变形，机械损伤小。冷冻制样过程无需化学固定和脱水，样品处理步骤减少，降低人为误差。不仅适用于生物样品，还适用于液体、半液体、和电子束敏感样品的观察。
体电镜
国仪量子vEM解决方案是一套面向细胞、组织等大尺度生物样品的三维结构与动态信息获取的平台型方案，实现了从数据采集到三维重构的全流程闭环。可提供多条技术路线，可根据需求灵活选择，配套多语言界面自动化工作流及集成式生物AI算法，让体电镜操作“开箱即用”。
原位加热芯片
- 控温精度高，温度均匀性好
- 红外辐射少，高温下分析更稳定
- 温控范围广，室温~1100℃
- 可兼容国仪SEM,FIB,进行原位EDS,EBSD测试
原位力学
在纳米精度下实时捕捉材料受热(-170~1200℃)或受力时的微观演变：晶界滑移、裂纹扩展、相变轨迹，突破传统静态表征局限。同步关联温度-应力-结构响应（如高温蠕变中位错增殖、拉伸下界面脱粘），揭示材料在真实服役环境中的失效机制。为航空热障涂层脱落、柔性电极断裂、生物植入物腐蚀等场景提供微观级失效证据，加速高性能材料设计与寿命预测。
- 动态高分辨观测
- 多场耦合关联
- 工业-科研双驱
4D-STEM
- 高空间分辨率
- 低束流损伤
- 多维度分析
- 数据灵活性高
8英寸晶圆全尺寸加工
国仪量子vEM解决方案是一套面向细胞、组织等大尺度生物样品的三维结构与动态信息获取的平台型方案，实现了从数据采集到三维重构的全流程闭环。可提供多条技术路线，可根据需求灵活选择，配套多语言界面自动化工作流及集成式生物AI算法，让体电镜操作“开箱即用”。
产品参数
| 关键参数： | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
| 分辨率 | 3 nm @ 30 kV，SE | |
| 4 nm @ 30 kV，BSE | ||
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 300000 x | |
| 位移台（大行程可选）： | 位移台类型 | 三轴位移台 |
| 探测器 | 旁侧电子探测器 (ETD) | ● |
| 悬挂式背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 插入式背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 能谱仪 (EDS) | ○ | |
| 背散射衍射 (EBSD) | ○ | |
| 扩展 | 低真空模式 | ○ |
| 硬件防碰撞 | ○ | |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ | |
| *可接受微定制服务 | ● 标配 ○ 选配 |
钨灯丝扫描电子显微镜
SEM2100
SEM2100 是一款对初级用户非常友好的低门槛立式钨灯丝扫描电镜，采用了简化的操作流程，符合行业标准和电镜用户习惯的软件设计。在简约的软件界面上，依然提供了完善的自动化功能、丰富的测量和标记工具、图像管理和编辑、光学导航等功能，充分体现了简约不简单的设计理念。
功能丰富
用户友好的操作界面
化繁为简
流畅省心的使用体验
实时监测
双重防碰撞
丰富的扩展性
兼容第三方附件
操作界面
自动化功能
完善的自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散功能，可提高工作效率。
自动聚焦
自动像散
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自动亮度对比度
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光学导航
应用案例
电子半导体
在半导体行业内，制程工艺会伴随各种微观缺陷，为了保障芯片的高良率，会引入专业的微观表征设备进行检测，其中利用扫描电镜进行高分辨形貌分析是不可或缺的排查手段。
SEM2100/PCB板(车灯)/10 kV/BSED
SEM2100/芯片/15 kV/BSED
SEM2100/IMC层/15 kV/BSED
SEM2100/芯片/10 kV/ETD
锂电池/新能源材料
在新能源与锂电池制造中，材料的微观缺陷极易引发热失控，为了保障电芯的极致安全与性能，需要利用扫描电镜进行正负极材料和隔膜材料的检测。
SEM2100/三元正极前驱体/15 kV/ETD
SEM2100/磷酸铁锂/10 kV/ETD
SEM2100/隔膜/10 kV/ETD
SEM2100/硅碳负极材料/15 kV/ETD
金属材料
在金属材料研发与制造中，零部件常遭遇疲劳或腐蚀失效，为了探究其根本原因，需要借助专业的显微结构表征设备进行检测，其中扫描电镜是极为重要的设备之一。
SEM2100/金属断口/20 kV/ETD
SEM2100/铜板/15 kV/ETD
高分子材料
在高分子材料研发与改性中，微观形貌与断口结构直接决定性能，为了探究其内在机理，利用扫描电镜进行低电压形貌观察是非常重要的表征方法。
SEM2100/纤维截面/7 kV/BSED
SEM2100/高分子透镜阵列/15 kV/ETD
功能材料与新材料
在功能与新材料的研发中，微观形貌与特殊结构直接决定其最终性能。扫描电镜作为专业表征工具，可以很好的对新材料的微观形貌表征。
SEM2100/氧化锌/10 kV/ETD
SEM2100/陶瓷粉末/10 kV/ETD
生命与食品工程
在生命医药与食品工程中，组织形态与成分的微观结构直接关乎生理演变或口感风味。借助扫描电镜可深度观察生物大分子与食品原料的立体形貌。
SEM2100/盐/1 kV/ETD
SEM2100/片球菌属/15 kV/ETD
解决方案
12英寸晶圆检测
12英寸晶圆扫描电镜广泛应用于半导体行业和科研领域。它配备大尺寸、大行程的样品台（超过300mm行程)，具备高分辨率成像能力，可对微观结构进行详细观察和分析，其在半导体制造中用于检测晶圆缺陷，助力工艺优化，实现大尺寸全覆盖无损检测，标配高灵敏度镜筒内探测器，可选配EDS模块，实现形貌、成分等综合分析。
电镜-拉曼联用
- 信息互补，同步获取
- 直接对接，紧密关联
- 精准定位，针对性强
- 适用范围广，灵活性高
- 跨平台精准定位
- 多模态数据融合
- 灵活扩展性强
- 高性价比解决方案
冷冻传输电镜
高分辨形貌表征，保持样品原始状态，不皱缩，不变形，机械损伤小。冷冻制样过程无需化学固定和脱水，样品处理步骤减少，降低人为误差。不仅适用于生物样品，还适用于液体、半液体、和电子束敏感样品的观察。
体电镜
国仪量子vEM解决方案是一套面向细胞、组织等大尺度生物样品的三维结构与动态信息获取的平台型方案，实现了从数据采集到三维重构的全流程闭环。可提供多条技术路线，可根据需求灵活选择，配套多语言界面自动化工作流及集成式生物AI算法，让体电镜操作“开箱即用”。
原位加热芯片
- 控温精度高，温度均匀性好
- 红外辐射少，高温下分析更稳定
- 温控范围广，室温~1100℃
- 可兼容国仪SEM,FIB,进行原位EDS,EBSD测试
原位力学
在纳米精度下实时捕捉材料受热(-170~1200℃)或受力时的微观演变：晶界滑移、裂纹扩展、相变轨迹，突破传统静态表征局限。同步关联温度-应力-结构响应（如高温蠕变中位错增殖、拉伸下界面脱粘），揭示材料在真实服役环境中的失效机制。为航空热障涂层脱落、柔性电极断裂、生物植入物腐蚀等场景提供微观级失效证据，加速高性能材料设计与寿命预测。
- 动态高分辨观测
- 多场耦合关联
- 工业-科研双驱
4D-STEM
- 高空间分辨率
- 低束流损伤
- 多维度分析
- 数据灵活性高
8英寸晶圆全尺寸加工
国仪量子vEM解决方案是一套面向细胞、组织等大尺度生物样品的三维结构与动态信息获取的平台型方案，实现了从数据采集到三维重构的全流程闭环。可提供多条技术路线，可根据需求灵活选择，配套多语言界面自动化工作流及集成式生物AI算法，让体电镜操作“开箱即用”。
产品参数
| 关键参数： | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
| 分辨率 | 3 nm @ 30 kV，SE | |
| 4 nm @ 30 kV，BSE | ||
| 加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 300000 x | |
| 位移台（大行程可选）： | 位移台类型 | 三轴位移台 |
| 探测器 | 旁侧电子探测器 (ETD) | ● |
| 悬挂式背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 插入式背散射电子探测器 (BSED) | ○ | |
| 能谱仪 (EDS) | ○ | |
| 背散射衍射 (EBSD) | ○ | |
| 扩展 | 低真空模式 | ○ |
| 硬件防碰撞 | ○ | |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ | |
| *可接受微定制服务 | ● 标配 ○ 选配 |
