SEM3100SEM3100

扫描电子显微镜
SEM3100


SEM3100具有出色的成像质量和丰富的扩展性,将钨灯丝扫描电子显微镜的可用性、易用性发挥到极致。分辨率可达3 nm,超大样品仓,可容纳最大直径为370 mm的样品,以及诸多细节功能设计和特色功能,助您在显微成像的世界中尽情探索。

高性能高指标

SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜,拥有超高的分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调,在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深,成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式,极大地扩展了SEM3100的应用范围。

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丰富的扩展性

扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察,还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓,接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,诸如电子背散射衍射(EBSD)、波谱仪(WDS)、阴极荧光(CL)等探测器都可以在SEM3100上进行集成。

背散射探测器

二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下,样品的荷电效应明显减弱,并且具有很好的成分衬度,适合进行成分观察。

能谱分析

水泥建筑材料SE和EDS分析结果,加速电压15 kV
*微量Au元素为喷金后的镀层

特色功能,更高的效率和更好的性能

光学导航

光学导航

SEM3100标配的仓内摄像头可拍摄高清样品台照片,助您快速定位样品。

旋钮控制板和鼠标手势

旋钮控制板和鼠标手势

可通过旋钮控制板或鼠标滚轮/手势快速调节聚焦和像散等参数,极大地提高成像效率。

动态像散动态图
动态像散结果图

动态像散

直观反映像散程度,通过鼠标点击即可快速调节像散至最佳。

电平移动态图
电平移-结果图结果图

快速调节图像旋转

拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。

细节设计,追求最佳的易用性

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备注:
1、仅选配的五轴样品台支持; 2、标配真空电机。

SEM3100应用案例

点击可查看大图

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参数

电子光学系统
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1 x~300,000 x
加速电压
1 kV~30 kV
电子枪类型
预对中型发叉式钨灯丝电子枪
成像系统
探测器(标配)
二次电子探测器 (ETD)
探测器(选配)
背散射电子探测器、能谱仪EDS等
图像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
图像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
控制方式
全自动阀
涡轮分子泵
240 L/S
机械泵
12 m³/h(50 Hz)
摄像头
光学导航
样品仓内监控
样品室真空度
高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置
三轴自动(标配)
五轴自动(选配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: -180°~ +180°
/
T: -10°~ +75°
最大样品尺寸
直径:370 mm, 高:68 mm
直径:370 mm, 高:73 mm
软件
语言
中文
操作系统
Windows
导航
光学导航,手势快捷导航
自动功能
自动亮度对比度,自动聚焦
特色功能
动态像散
安装要求
房间
长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
门宽
宽不 ≥ 900 mm,高 ≥ 2000 mm
温度
20 ~ 25 ℃
湿度
≤ 50%
噪声
≤ 45dB
电气参数
电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA
地线
独立地线一条,小于4 Ω
交流磁场
< 100 nT
产品线稿图

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SEM3100产品手册

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(工作日 9:00-18:00)

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