SEM3100
扫描电子显微镜
SEM3100

SEM3100是一款性能更优的钨灯丝扫描电子显微镜。

本型号电镜可快速更换灯丝,使用维护更便捷。标配超大尺寸样品仓,最大可支持样品直径370 mm,高68 mm,可在1至300,000倍下观察样品,最高分辨率可达3 nm,使用场景更为广泛。

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大腔体设计, 100 mm样品台或115 mm样品台(选配)

可放置最大样品直径370 mm,高68 mm

稳定的成像效果,超高的分辨率

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多种探测器可供选配满足不同的应用需求

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模块化的结构设计,易于维护及保养

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纯中文界面操作简洁高效

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符合人体工程学设计的旋钮控制板

应用案例

稳定的成像效果,极高的分辨率。能够在高倍下对极细微形貌进行稳定观测,且得到的图像有很好的衬度和极高的分辨率。

芯片 加速电压15 kV

锡球 加速电压30 kV

配备有简单易用的导航系统,可以快速定位样品或样品局部区域,进行特征观测。针对生物样品,首先在较大视野范围内定位感兴趣区域,然后快速放大,观察其局部微观细节。

昆虫样品 加速电压10 kV

蜜蜂复眼 加速电压10 kV

支持低电压模式,同时保证成像稳定和高衬度。观察不导电样品时,可减轻表面荷电现象,使得成像过程稳定清晰。

有机纤维材料 加速电压5 kV

头发丝 加速电压5 kV

可实现高分辨率成像,轻松观察极细微尺寸。合金样品镁铝元素扩散的分层边界、纳米级尺度的锂电池材料在SEM3100下也依然清晰可见。

合金样品过渡区域 加速电压15 kV

碳纳米管附着物 加速电压15 kV

视野范围从毫米级到纳米级,实现了跨尺度大范围成像。在粉末冶金和金属表面形貌分析中,得到广泛应用。与此同时,软件提供的测量工具,还可以对颗粒和其他表面特征进行定量分析。

3D打印金属粉末原料 加速电压5 kV

3D打印金属块截面 加速电压15 kV

具备大景深成像能力,成像更具有三维空间感,突出主体的同时还可以表现细节。可适用于表面高低起伏较大的样品,如微电极针。

微电极针 加速电压15 kV

微电极针(放大) 加速电压15 kV

背散射

可选配背散射电子探测器。在背散射图像中,原子序数不同的区域,背散射电子产额也会不同,因而既可以显示纯形貌的几何衬度像,又可以用来反映试样中化学组分的分布衬度像。此外,背散射图像受样品表面荷电影响较小,可以对不导电样品进行直接检测。

金属镀层 SE和BSE对比加 速高压15 kV

能谱

可搭配不同种类的能谱仪,通过与EDS系统进行组合使用,可对试样表面的元素分布及含量进行分析。在工业生产、环境保护和科学研究领域应用广泛。SEM3100与各种探测器具有优良的兼容性,具有极强的应用拓展能力,可以覆盖更多应用场景。

金属镀层 加速电压15 kV 放大倍率80

元素谱峰

元素半定量值

产品参数

特性分辨率3 nm/30 kV
放大倍率1X ~ 300,000X
加速电压1 kV ~ 30 kV
图像检测二次电子图像 (SE)
背散射电子图像 (BSE)
多探测器 (SE+BSE)
探针与配件灯丝类型预对中型发叉式钨灯丝
物镜光阑固定光阑
二次电子探头标配
背散射探头选配
能谱仪EDS选配
样品室控制方式全自动阀
涡轮分子泵1台,240 L/S
机械泵1台,12 m³/h(50 Hz)
样品室真空度高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置三轴自动(标配)五轴自动(选配)
行程X:100 mm 电动X:115 mm 电动
Y:100 mm 电动Y:115 mm 电动
Z:60 mm 电动Z:65 mm 电动
/R:-180°到+180° 电动
/T:0°到-75°
最大样品尺寸直径370 mm, 高68 mm直径370 mm, 高73 mm
软件语言中文
操作系统Windows
整机尺寸(mm)长:923 mm,宽:833 mm,高:1650mm
使用条件房间长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
温度20 ~ 25 ℃
湿度≤ 50%
电气参数电源AC 220 V(± 10 %),50 Hz,2 kVA
地线独立地线一条,小于4 Ω
交流磁场≤ 100 nT
门宽宽不小于900 mm,高不小于2000 mm
特性
分辨率3 nm/30 kV
放大倍率20-300000
加速电压1 kV-30 kV
图像检测二次电子图像 (SE)
背散射电子图像 (BSE)
多探测器 (SE+BSE)

探针与配件
灯丝类型预对中型发叉式钨灯丝
物镜光阑固定光阑
二次电子探头标配
背散射探头选配
能谱仪EDS选配
样品室
控制方式全自动阀
涡轮分子泵1台,240 L/S
机械泵1台,12 m³/h(50 Hz),8.4 cfm(60 Hz)
样品室真空度高真空下优于9 E-4Pa
样品台配置三轴自动(标配)
行程X:100 mm 电动
Y:100 mm 电动
Z:60 mm 电动

最大样品尺寸直径370 mm, 高68 mm
样品台配置五轴自动(选配)
行程X:115 mm 电动
/Y:115 mm 电动
Z:65 mm 电动
R:-180°到+180° 电动
T:0°到-75°

最大样品尺寸直径350 mm, 高73 mm
软件管理
语言中文
操作系统Windows
整机
尺寸(mm)长x宽x高 700x750x1650
使用条件
房间不小于3 mx4 m,高2.3 m
温度5-30 ℃
湿度不大于50%
地面震动不大于5 um/sec
电气参数电源AC220 V;50 Hz;3 kVA
地线独立地线一条,小于10 Ω
交流磁场不大于0.3 μT
门宽宽不小于900 mm,高不小于2000 mm
产品参数1618909184526.png
公司地址

合肥 : 合肥市高新区创新产业园二期E2楼

无锡 : 无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号

上海 : 上海市虹口区北外滩峨眉路315号8405室

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电话 : 400-0606-976
(工作日 9:00-18:00)

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