场发射扫描电子显微镜
SEM3700
SEM3700是一款稳定通用,灵活高效的场发射扫描电镜。可达到1.1nm@1.0kV,轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战,可升级超级减速模式,进一步提升低压分辨率。同时采用了多探测器技术镜筒内电子探测器(UD)可探测SE和BSE信号,同时具有高分辦率性能。仓内电子探测器(LD)采用了晶体闪烁体和光电倍管,具备更高的灵敏度和高效性,图像具有很好的立体感。中文操作软件,简单易用,丰富的自动化功能,如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等,可快速获取超高分辨图像。
产品参数
| 电子枪: | 肖特基热场发射电子枪 |
| 放大倍率: | 1 ~ 2,500,000x。测长示值误差:不超过±5% |
| 分辨率: | 0.7nm @15kV(SE)、1.1nm @1kV (SE) |
| 加速电压范围: | 0.02kV~30kV |
| 束流大小: | 1pA~20nA |
| 样品室尺寸: | 可放置最大样品尺寸:φ263mm×65mm,具有防碰撞功能 |
| 样品台: | 五轴全自动样品台,样品台行程:X轴:110mm,Y轴:110mm,Z轴:65mm |
| 倾斜角T: | -10°~+70°,旋转R:360°连续可调 |
| 图像分辨率: | 不低于3072x2048,图像保存最大48kx32k |

场发射扫描电子显微镜
SEM3700
SEM3700是一款稳定通用,灵活高效的场发射扫描电镜。可达到1.1nm@1.0kV,轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战,可升级超级减速模式,进一步提升低压分辨率。同时采用了多探测器技术镜筒内电子探测器(UD)可探测SE和BSE信号,同时具有高分辦率性能。仓内电子探测器(LD)采用了晶体闪烁体和光电倍管,具备更高的灵敏度和高效性,图像具有很好的立体感。中文操作软件,简单易用,丰富的自动化功能,如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等,可快速获取超高分辨图像。
产品参数
| 电子枪: | 肖特基热场发射电子枪 |
| 放大倍率: | 1 ~ 2,500,000x。测长示值误差:不超过±5% |
| 分辨率: | 0.7nm @15kV(SE)、1.1nm @1kV (SE) |
| 加速电压范围: | 0.02kV~30kV |
| 束流大小: | 1pA~20nA |
| 样品室尺寸: | 可放置最大样品尺寸:φ263mm×65mm,具有防碰撞功能 |
| 样品台: | 五轴全自动样品台,样品台行程:X轴:110mm,Y轴:110mm,Z轴:65mm |
| 倾斜角T: | -10°~+70°,旋转R:360°连续可调 |
| 图像分辨率: | 不低于3072x2048,图像保存最大48kx32k |
