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继CTI华测检测半导体检测及分析中心合肥FA实验室完成场地扩容、硬件焕新后，我们又迎来关键一步：国仪量子SEM-4000X场发射扫描电子显微镜已于2026年3月正式导入运营，中部地区半导体微纳分析能力再上新台阶！ 

 

此前，实验室已通过场地科学布局与硬件扩容，实现化性实验、切片实验两大核心环节产能提升超50%。如今SEM-4000X投用，让实验室实现从“效率提升”到“精度升级”的关键跨越。

 

 

高清成像，精准捕捉微纳细节

 

专为半导体失效分析与材料表征设计，低电压模式下可清晰捕捉芯片微纳结构，有效减少荷电效应和辐照损伤，让缺陷与界面信息无所遁形。

 

 

大样兼容，适配多元分析需求

 

配备快速换样仓，可支持4寸晶圆（直径100mm），满足客户对更大尺寸样品的分析需求，适配晶圆、元器件等多样品形态检测。

 

 

SEM-4000X核心参数

 

分辨率：0.9nm@30KV(SE)，1.0nm@15KV(SE)，1.8nm@1KV(SE）

 

加速电压：200V-30KV

 

放大倍率：1～1,000,000X

 

样品台行程：X=110mm，Y=110mm，Z=50mm，支持-10°～+70°倾斜

 

电子枪类型：肖特基场发射电子枪，确保长期稳定性

 

实验室已完成“效率+精度”双重升级，将以更高效的制样流程、更精准的微纳分析能力，为半导体、新能源、先进制造等行业提供可靠检测支撑。

 

未来，CTI华测检测半导体检测及分析中心合肥FA实验室将持续深耕技术、优化服务，以硬核实力助力客户定位问题、优化产品性能，携手行业伙伴探索半导体产业更多可能。