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 在先进制程芯片的研发与制造中，透射电子显微镜是洞悉原子级结构的“火眼金睛”，而双束电镜则是制备高质量TEM样品的“精密手术刀”。

 

国仪量子聚焦离子束电子束双束显微镜DB550将高分辨率电子束成像与高精度离子束加工集于一身，是实现从成像观察到纳米加工的全能平台。DB550搭载低电压高分辨电子镜筒，同时配置全自研“承影”离子镜筒，可实现纳米级的定点切割与刻蚀。

 

 

针对5nm及更先进工艺节点对高精度、低损伤制样的严苛要求，DB550能够完成从大束流快速粗切到低电压精细抛光的全流程作业，高效制备满足TEM分析标准的超薄样品，完全满足半导体先进制程需求。

 

国仪量子高端双束电镜在先进制程领域实现可靠的实际应用能力，为半导体产业注入了强劲的国产创新力量。

 

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5nm芯片TEM样品展示

 

经过TEM表征，能观察到5nm芯片的fin结构完整无非晶，film清晰，双束制样性能得到验证。

 

 

 

电子显微镜是半导体失效分析实验室的核心工具。国仪量子坚持从底层算法到核心硬件的全栈自研，不仅实现了关键性能的对标，更通过技术自持确保了高端仪器的供应链稳定性。

 

我们致力于提供连续、可靠、响应及时的技术支撑，为我国先进制程芯片的研发连续性与供应链安全提供了坚实的支撑。