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近日，安徽省工业和信息化厅发布2026年度第一批安徽省首台套重大技术装备拟评定名单，国仪量子技术（合肥）股份有限公司自主研发的聚焦离子束电子束双束显微镜DB550成功入选并获“国际先进、实现自主供应能力”评定。

 

 

图片来源：安徽省工信厅官网

 

双束电镜，纳米分析与加工的关键支撑

 

在纳米尺度的研究和分析中，研究人员往往不仅要看清样品表面或内部的细微结构，还要在目标位置完成切割、减薄、沉积或样品提取。将观察与加工置于同一平台，有助于缩短样品转移和重复定位的流程。

 

聚焦离子束电子束双束显微镜将电子束观察与离子束加工集成于同一平台。电子束可用于样品表面及截面的微观形貌观察；离子束则可用于定点切割、刻蚀、沉积、减薄等纳米加工操作。二者协同，使研究人员能够在同一设备上完成“观察—定位—加工—再观察”的连续工作流程。

 

在半导体失效分析、先进封装、新能源材料、金属材料及器件研发等场景中，FIB是连接宏观问题与微观证据的重要工具。以先进存储器分析为例，随着3D NAND堆叠层数不断提升，对大尺寸截面加工和超薄样品制备的均匀性提出了更高要求。国仪量子此前发布的应用验证显示，DB550完成了覆盖200余层堆叠结构、横向尺度超过10μm的大尺寸超薄截面制备，并通过多模式成像对加工结果进行了验证。

 

 

DB550：追求极致产出的纳米分析工具

 

国仪量子聚焦离子束电子束双束显微镜DB550面向纳米分析加工及透射电镜制样等应用需求开发。产品采用低电压高分辨电子镜筒与超级减速方案，可在低电压条件下保持亚纳米级成像解析能力；新一代“承影2.0”离子镜筒，则进一步优化了低压分辨率与大束流加工表现。

 

产品核心优势

 

1.高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品。

2.“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样。

3.机械手采用集成控制方式，通过成像界面精准控制移动。

4.自主可控，扩展性强；离子源采用集成化设计，更换便捷；配备完善的售后服务体系。

 

国仪量子聚焦离子束电子束双束显微镜DB550

 

此次DB550入选安徽省首台套重大技术装备名单，是国仪量子坚持自主研发、持续完善产品能力的重要见证。未来，国仪量子将继续面向半导体、材料、新能源等领域的实际需求，推动高端电子显微镜在更多科研与产业场景中落地应用，以可靠的仪器装备与专业服务助力科学研究和产业创新。