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 在半导体制造迈向更精细工艺的时代，晶圆级缺陷分析、失效定位与微纳加工已成为提升良率的关键环节。国仪量子推出8英寸晶圆双束全尺寸加工解决方案，集高分辨率成像与精准离子束加工于一体，实现对晶圆的“观测-分析-切割”全流程覆盖，为半导体先进制程提供强大技术支撑。

 

该方案搭载150mm大行程高精度样品台，可支持8英寸晶圆全域无损观测与加工，配合外置光学导航系统与智能防碰撞算法，实现晶圆的快速、精准定位与安全操作。系统配备肖特基场发射电子枪，分辨率达0.9 nm @15kV，离子束分辨率达3 nm@30kV，可在纳米尺度下完成缺陷检测、截面剖切、微结构加工等复杂任务。

 

方案核心优势突出

 

 

 

晶圆观测范围

 

 

国仪量子双束电镜方案不仅具备卓越的硬件性能，更搭载智能软件系统，支持一键式亮度对比度调节、自动聚焦、多格式图像输出，赋能用户高效完成从缺陷发现到工艺优化的全链条任务。

 

 

9月26-30日 武汉

 

2025年全国电子显微学学术年会

 

国仪量子八大电镜解决方案

 

即将发布！

 

填写问卷，会议结束后即可获取方案PDF！