SEM5000

场发射扫描电镜
SEM5000


SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型

高亮度肖特基
场发射电子枪

分辨率

1 nm @ 15 kV
1.6 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 1,000,000 x

加速电压

20 V ~ 30 kV

样品台

五轴全自动样品台

产品特点

01

分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像

02

电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品

03

高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证

04

电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力

05

水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

06

磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

应用领域

锂电芯片半导体陶瓷建筑材料电子元器件化学化工生物医疗环保金属材料更多领域
锂电芯片半导体陶瓷建筑材料电子元器件化学化工生物医疗环保金属材料

产品参数

电子光学系统分辨率1 nm @ 15 kV

1.6 nm @ 1 kV

放大倍率1 x~1,000,000 x
加速电压20 V~30 kV
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪
磁场屏蔽被动式磁屏蔽
主动式磁屏蔽(选配)
成像系统探测器镜筒内高角度电子探测器
侧向二次电子探测器
扩展背散射电子探测器
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
电子束感生电流(EBIC)
阴极荧光(CL)
图像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室真空控制方式全自动控制,无油真空系统
摄像头双摄像头
(光学导航 + 样品仓内监控)
样品台配置五轴全自动样品台
行程X: 120 mm
Y: 115 mm
Z: 48 mm(大行程可选配)
R: 360°
T: -10°~ +75°
减震主副减震支架
双气室隔膜式减震器
主动式减震器(选配)
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
公司地址

合肥 : 合肥市高新区创新产业园二期E2楼

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上海 : 上海市虹口区北外滩峨眉路315号8405室

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